緩沖氣缸對于接近行程末端時速度較高的氣缸，不采取必要措施，活塞就會以很大的力（能量）撞擊端蓋，引起振動和損壞機件。為了使活塞在行程末端運動平穩，不產生沖擊現象。在氣缸兩端加設緩沖裝置，一般稱為緩沖氣缸。緩沖氣缸主要由活塞桿1、活塞、緩沖柱塞、單向閥、節流閥、端蓋等組成。其工作原理是：當活塞在壓縮空氣推動下向右運動時，缸右腔的氣體經柱塞孔及缸蓋上的氣孔排出。

在活塞運動接近行程末端時，活塞右側的緩沖柱塞將柱塞孔堵死、活塞繼續向右運動時，封在氣缸右腔內的剩余氣體被壓縮，緩慢地通過節流閥及氣孔排出，被壓縮的氣體所產生的壓力能如果與活塞運動所具有的全部能量相平衡，即會取得緩沖效果，使活塞在行程末端運動平穩，不產生沖擊。調節節流閥閥口開度的大小，即可控制排氣量的多少，從而決定了被壓縮容積（稱緩沖室）內壓力的大小，以調節緩沖效果。